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单晶薄膜检测

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更新时间:2025-04-02  /
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单晶薄膜检测单位哪里有?中析研究所实验室提供单晶薄膜检测服务,出具的检测报告支持扫码查询真伪。检测范围:硅单晶薄膜(Silicon),氮化镓单晶薄膜(GaN),氮化铝单晶薄膜(AlN),氮化硼单晶薄膜(BN)。检测项目:结构分析,厚度测量,光学特性测试,表面形貌观察。

单晶薄膜检测

单晶薄膜检测范围

硅单晶薄膜(Silicon),氮化镓单晶薄膜(GaN),氮化铝单晶薄膜(AlN),氮化硼单晶薄膜(BN)

单晶薄膜检测项目

结构分析,厚度测量,光学特性测试,表面形貌观察

单晶薄膜检测方法

X射线衍射(XRD):用于分析单晶薄膜的结构和晶格参数。

拉曼光谱(Raman spectroscopy):通过分析单晶薄膜的示性振动模式,提供关于晶体结构、应力和缺陷等信息。

厚度测量:使用薄膜厚度测量仪,如椭偏仪(ellipsometer)、原子力显微镜(AFM)等,对单晶薄膜进行厚度测定。

光学特性测试:包括透射光谱、反射光谱和吸收光谱等,用来研究单晶薄膜的光学特性。

表面形貌观察:使用扫描电子显微镜(SEM)或原子力显微镜(AFM)等设备,对单晶薄膜的表面形貌进行观察和分析。

单晶薄膜检测仪器

X射线衍射仪,薄膜厚度测量仪,光谱分析仪,原子力显微镜

薄膜厚度测量仪

单晶薄膜检测标准

GB/T 6616-2023半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

GB/T 9633-2012微波频率应用的旋磁材料性能测量方法

GB/T 30857-2014蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

ISO 22278-2020精细陶瓷(高级陶瓷,高级工业陶瓷)—使用平行X射线束的XRD方法对单晶薄膜(晶片)的结晶质量的测试方法

SJ/T 11207-1999钇铁石榴石单晶磁性薄膜磁特性的测量方法

T/CECA 69-2022声表面波器件用单晶薄膜基片

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